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激光干涉仪测长原理的解析

编辑:金沙官网        发布日期:2018-05-20        点击量:592

激光干涉仪作为长度计量中精度很高的标准计量仪器设备设备,一般应用在机械加工、航空航天、微电子加工和精密计量测试等多个领域。长度测量是激光干涉仪的最基本的测量功能,其它功能如小角度测量都是以长度测量为基础的,测长精度的高低也将直接影响其它测量的精度,因此,如何科学有效地对测长精度进行校准显然是非常重要的,本文将对激光测长的原理和精度校准进行详细的分析和讨论。

激光干涉仪测长原理的解析

  从激光头射出的稳频激光经过线性分光镜分成两束光,一束向上反射到参考镜上,另一束透射到测量镜上,分别被反射回到分光镜的分光面上进行叠加干涉,产生的干涉条纹由后续的光电器件和细分计数电路处理。参考镜和测量镜在测量轴向的相对移动,反映为两路光程差的变化,亦即干涉条纹的变化,因而实现了位移L的测量。
  在实际测量中,可动部件大多是测量镜,但也可以是分光镜,因为测量的是它们两者之间的相对位移;当测量空间受到限制时,激光头可以安装成与测量光轴成90°夹角,如图2所示计量仪器包括所有的检测仪器,通用仪器是常见的检测仪器,专用仪器具有针对性的,玻璃仪器一般测重于化学实验仪器。计量器具广泛应用于生产.科研.领域和人民生活等各方面。计量器具的检定是指查明和确认计量器具是否符合法定要求的程序,包括检查、加标记和(或)出具检定证书。

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